硅烷法的成本低，但是安全性差。

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• VPE制备n-n+-Si用硅烷为源，硅烷是在（）完成的分解。可从下面选择：气相硅片表面n-n+Si界面
• 硅烷类偶联剂的分子式可以写成Y(CH2)nSiX3，其中能水解的基团是。