关于光学光刻，下列哪种方法可以获得高分辨率？
A.采取浸入式光刻方法
B.光源为紫光
C.驻波效应对分辨率无影响
D.使用移相掩膜技术制备的光刻版
正确答案：采取浸入式光刻方法；使用移相掩膜技术制备的光刻版
关于光学光刻，下列哪种方法可以获得高分辨率？
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