CVD方法生长的薄膜材料一般纯度和致密性都很好，但是反应的源气、余气有毒。
A.正确
B.错误
正确答案：正确
测验
CVD方法生长的薄膜材料一般纯度和致密性都很好，但是反应的源气、余气有毒。
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