纳米加工的精度包括（）、（）。
A.纳米级尺寸精度
B.纳米级几何形状精度
C.纳米级表面质量
D.纳米级位置精度
正确答案：纳米级尺寸精度；纳米级几何形状精度；纳米级表面质量
纳米加工的精度包括（）、（）。
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