8镀减反射膜时，硅片表面有扩散卡点，是什么原因：
A.镀膜时间太短
B.压力太大
C.NH3流量小了
D.石墨舟不干净
正确答案：A
8镀减反射膜时，硅片表面有扩散卡点，是什么原因：
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